2010-08-12: 【工業局補助50%】最新高效率低汙染化的半導體潔淨製程人才培訓班( 8/12~ 8/13)
負責人 sephony 登記日期 2010-07-14 10:26 (82 人氣)
隨著半導體製程技術演進,氣體與化學藥液一樣,在半導體製程都是不可或缺的。雖然氣體、化學藥液佔整個成本的比重不高,但氣體、化學藥液的純度及品質,直接影響到產品的良率及品質。特別是半導體製程要求越來越精細,對於在製程中的各個零組件在表面平滑、潔淨與抗腐蝕能力的需求越來越高,過去的處理方式面臨極限,如擦光研磨因局部加壓研磨,在加工表面留下磨痕,且在晶界處發現金屬粉末及油脂嵌入其中;而電解拋光法容易發生過度電解於晶界發生腐蝕等,在這些類型的潔淨製程中,並不只有在細微的模式與材料表現上製造傷害,還要追求能夠確實的除去極微量的汙染。在低汙染的低成本中,為了不産生副作用,還要確實達到去除,必須確實理解潔淨和傷害發生的組織與儀器的構造,在本講座中,將邀請各領域的專家來為大家解説。
|